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磐锋精密申请一种半导体零件的智能检测方法和装置专利
发布时间：2025-10-23 10:32:30 浏览次数：5263深圳市磐锋精密技术有限公司申请一种“半导体零件的智能检测方法和装置专利”的专利，公开号CN120629503A，申请日期为2025年8月，公开日期为2025年9月。
本发明属于洁净度检测技术领域，涉及一种半导体零件的智能检测方法和装置，包括洁净室的安装测试组件；由氮气供气装置向洁净室内部供气，吹扫内部零件表面的微尘粒子，并收集微尘颗粒的自动化装置。
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