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平面镜/晶粒AOI分选设备
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详情介绍
功能：
一款具有高速、高精度、高稳定性的自动平面镜/晶粒AOI分选设备，用于挑取固定在蓝膜上已划片的晶圆/类晶圆产品，AOI检测
参数：
◆ 设备兼容性:兼容4~12寸产品
◆ UPH: 2000-6000PCS以上（不同配置）
◆ 检测位置：产品正面、底面、侧面缺陷检测
◆ 检测内容：尺寸、崩边、破损、划伤、脏污、裂纹等表面不良
◆ 和MES系统对接，实现物料、工艺参数、机器状态信息等自动交互
应用：
切割后固定在蓝膜上4~12寸晶元、平面镜、LED等类晶元来料工艺产品
